薄膜のヤング率測定と、湿度効果、温度効果、膜厚計測の問題点など
(Humididy, temperature effect on Youngs Modulus of Organic films, and the problems on thickness measurement.)
JSTさきがけナノテク融合領域ワークショップ. 2008.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-01-08 04:09:04 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:21:48 +0900