電子集積空間としての原子層堆積膜に埋め込まれた分子性酸化物
(Molecular oxide solvated by atomic layer oxide as atomic-precise electric cavity)
2nd International Conference on ALD Applications & 3rd China ALD. 2014.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:44:29 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:59:22 +0900