クリプトン、酸素混合プラズマによるシリコン酸化中の表面応力変動
(Surface Stress during Oxidation by Plasma of Kr gas and O2 gas )
第４１回真空に関する連合講演会. 2000年10月25日-2000年10月27日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:01:11 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:07:10 +0900