Impact of Ferroelectric HfxZr1−xO2/TiN Interface Design on Ferroelectricity and Fatigue Behavior of Metal-Ferroelectric-Metal Capacitors
248th ECS Meeting (Electrochemical Society Meeting). 2025年10月12日-2025年10月16日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2026-01-20 03:06:37 +0900 更新時刻: 2026-01-20 03:06:37 +0900