紫外レーザーCVDによるグラファイト基板上のSiC膜の生成.
(Synthesis of SiC Film on Graphite Substrate by UV Laser CVD.)
日本金属学会. 1992年10月06日-1992年10月08日.
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作成時刻: 2017-01-08 04:47:17 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:15:20 +0900