Si結晶中の水素分子形成の基板温度依存性
(Substrate Temperature Dependence of the Formation of Hydrogen Molecules in Crystalline Silicon)
第57回応用物理学会学術講演会. 1996.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-18 01:06:41 +0900更新時刻: 2017-07-10 17:37:20 +0900