Si結晶中の水素分子形成の基板温度依存性
(Substrate Temperature Dependence of the Formation of Hydrogen Molecules in Crystalline Silicon)
第57回応用物理学会学術講演会. 1996年09月07日-1996年09月10日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:06:41 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:37:20 +0900