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NIMS Awardシンポジウム2026

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炭化ケイ素と炭窒化タンタルの化学気相析出による高硬度で弾性率を低減したコンポジット膜の作製

且井 宏和, 下田 一哉, 堀田 幹則.
日本セラミックス協会第36回秋季シンポジウム. 2023年09月06日-2023年09月08日.

NIMS著者


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    作成時刻: 2023-10-27 03:13:54 +0900 更新時刻: 2023-10-27 03:13:54 +0900

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