パワーエレクトロニクス応用に向けたBi系酸化物MOCVD膜の配向制御
(Orientation Control of Bi-based oxide film by MOCVD Targeting Power Electronics Application)
著者 | 河合 伸哉, 和田 倫明, 土屋 哲男, 有沢 俊一, 露本 伊佐男, 金子 俊幸, 舘野 康史, Badica Petre, 遠藤 和弘. |
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会議名 | セラミックス協会第28階秋季シンポジウム |
発表年 | 2015 |
言語 | Japanese |