MBE法で作製したScN薄膜の電気特性
(Electric properties of ScN films deposited by molecular beam epitaxy)
日本セラミックス協会 2011年年会. 2011.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:40:34 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:59:57 +0900