コンビナトリアル手法によるHfO2-Al2O3-Y2O33成分コンポジションスプレッド薄膜の電気特性評価
(Electrical properties of HfO2-Al2O3-Y2O3 ternary composition spread film)
第51回応用物理学関係連合講演会. 2004.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:49:46 +0900更新時刻: 2017-07-10 18:55:35 +0900