結晶Si中水素分子形成の不純物濃度依存性
(Impurity Concentration Dependence of the Formation of Hydrogen Molecules in Crystalline Silicon)
応用物理学会. 2000.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:00:33 +0900更新時刻: 2018-05-30 18:36:31 +0900