酸化ハフニウム薄膜の局所バンドギャップに及ぼす酸素欠損と格子間炭素の影響
(Effect of Oxygen Deficiency and Carbon Interstitials on Local Band Gap of Hafnium Oxide Thin Films)
MicroNanoReliability 2007. 2007.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:19:37 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:03:24 +0900