酸化ハフニウム薄膜の局所バンドギャップに及ぼす酸素欠損と格子間炭素の影響
(Effect of Oxygen Deficiency and Carbon Interstitials on Local Band Gap of Hafnium Oxide Thin Films)
MicroNanoReliability 2007. 2007年09月02日-2007年09月05日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:19:37 +0900 更新時刻: 2017-07-10 20:03:24 +0900