コンビナトリアル手法によるメタルゲート材料の探索とその課題
(Material Exploration for Metal Gate by Combinatorial methodology)
電子材料研究会2004. 2004.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-01-08 04:21:39 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:03:55 +0900