Siの高周波プラズマ酸化表面のエリプソメータ測定.
(Ellipsometric Measurements of Silicon Surfaces Oxidized by rf Plasma.)
応用物理学会. 1991年10月09日-1991年10月12日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:42:02 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:12:21 +0900