Hf-Si-O系GaNゲート絶縁膜
(Hf-Si-O gate insulator for GaN power device)
IG-GaN研究会. 2019-07-29. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2019-10-02 03:00:22 +0900 更新時刻: 2024-03-05 12:21:09 +0900