薄膜ヤング率の膜厚依存性および環境応答性について
(Humidity effect on Youngs modulus of thin film.)
第50回真空に関する連合講演会. 2009.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:20:10 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:39:24 +0900