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薄膜ヤング率の膜厚依存性および環境応答性について
(Humidity effect on Youngs modulus of thin film.)
第50回真空に関する連合講演会. November 04, 2009-November 06, 2009.
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Created at: 2017-02-14 11:20:10 +0900 Updated at: 2017-07-10 20:39:24 +0900