HOME > 口頭発表 > 書誌詳細原子レベル精度のドーピングに向けた原子層堆積膜に埋め込まれた分子性酸化物(Molecular Oxide Embedded in Atomic Layer Deposition Oxide towards Atomic-Level Precise Doping)佐藤 宗英, Roy G. Gordon. 2013 JSAP-MRS Joint Symposia. 2013.NIMS著者佐藤 宗英Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-02-14 11:01:06 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:43:05 +0900