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MOVPE法を用いたGaN両極性同時成長プロセスの開発

著者藤田陽平, 高野泰, 井上翼, 角谷 正友, 福家俊郎, 中野貴之.
会議名第73回応用物理学会学術講演会
発表年2012
言語Japanese

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