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プラズマCVD ダイヤモンドのリン取り込み効率温度依存性
(Temperature dependence of phosphorus incorporation efficiency in MPCVD diamond)

山本 卓, 小泉 聡.
第75回応用物理学会秋季学術講演会. 2014.

NIMS著者


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    作成時刻 :2017-02-14 11:18:56 +0900 更新時刻 :2017-07-10 21:57:49 +0900

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