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ZrN,HfN/Geコンタクトの電気特性と界面微細構造解析

野口竜太郎, 光原昌寿, 山本圭介, 西田稔, 中島寛, 原 徹.
第75回応用物理学会秋季学術講演会. 2014年09月17日-2014年09月20日.

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    作成時刻: 2017-02-14 11:42:35 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:56:06 +0900

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