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低圧高周波誘導プラズマCVDによるシリカ基板上へのc－BN膜の作製と評価
1999年秋季第60応用物理学会学術講演会. September 01, 1999-August 03, 1999.
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Created at: 2017-02-14 10:54:03 +0900 Updated at: 2018-05-30 18:27:34 +0900