グラファイト基板上のレーザCVD SiC膜の結晶性.
(Crystallization of Laser CVD SiC Film on Graphite Substrate.)
日本金属学会. 1992年04月01日-1992年04月03日.
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作成時刻: 2017-02-14 11:45:11 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:13:00 +0900