ナノファブリケーションのためのパターン化重イオン照射
(Patterned heavy-ion irradiation for nanofabrication)
第10回クラスターイオンビームテクノロジーワークショップ. 2010年06月14日-2010年06月15日. 招待講演
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:46:19 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:43:01 +0900