ナノファブリケーションのためのパターン化重イオン照射
(Patterned heavy-ion irradiation for nanofabrication)
第10回クラスターイオンビームテクノロジーワークショップ. 2010. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:46:19 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:43:01 +0900