シリコン酸化表面の水素にともなう偏光解析パラメータの変化
(The Change in Ellipsometry Parameters during Hydrogenation of Silicon Oxide)
日本物理学会 1998年秋の分科会. 1998年09月25日-1998年09月28日.
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作成時刻: 2017-02-18 01:32:08 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:50:26 +0900