MBE法で作製したScN薄膜の非化学量論的組成と電気特性
(Non-stoichiometric Composition and Electric Properties of ScN Films Prepared by MBE)
2024年第71回応用物理学会春季学術講演会. 2024年03月22日-2024年03月25日.
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作成時刻: 2024-03-28 09:53:39 +0900更新時刻: 2024-03-28 09:53:39 +0900