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Youngs modulus measurement of plasma-polymerized allylamine films by using micro cantilever sensors

板倉 明子, Grinevich, Andrey, 戸田 雅也, Chu, Liqiang, 三宅晃司, 五十嵐慎一, Rudiger Berger.
17th International Vacuum Congress. 2007年07月02日-2007年07月06日.

NIMS著者


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    作成時刻: 2017-02-14 11:12:48 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:54:37 +0900

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