HOME > Presentation > Detail膜型表面応力センサを用いた環境ガスセンサの開発今村 岳, 吉川 元起. 第84回応用物理学会秋季学術講演会. September 19, 2023-September 23, 2023.NIMS author(s)IMAMURA, GakuYOSHIKAWA, GenkiFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2024-01-09 03:11:16 +0900Updated at: 2024-01-09 03:11:16 +0900