原子層堆積法によるリン酸マグネシウム固体電解質膜の作製 |

原子層堆積法によるリン酸マグネシウム固体電解質膜の作製
(Atomic Layer Deposition of a Magnesium Phosphate Solid Electrolyte Film)

著者	鶴岡徹, 蘇進, 西谷雄, 辻田卓司, 濱村朋史, 稲富友, 名倉健祐, 寺部一弥.
会議名	2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
発表年	2019
言語	Japanese