イオン照射を用いたストレス制御とパターニング
(Stress control and patterning by using ion irradiation)
第23回表面科学講演大会. 2003年11月26日-2003年11月28日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 03:38:42 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:48:27 +0900