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著者名寺地 徳之.
タイトルホモエピタキシャルダイヤモンド薄膜成長における欠陥低減
(Reduction of Defect Formation in Homoepitaxial Diamond Film Growth )
会議名第75回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2014
言語Japanese

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