ホモエピタキシャルダイヤモンド薄膜成長における欠陥低減
(Reduction of Defect Formation in Homoepitaxial Diamond Film Growth )
第75回応用物理学会秋季学術講演会. 2014年09月17日-2014年09月20日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:07:08 +0900 更新時刻: 2017-07-10 21:57:40 +0900