ゲート絶縁膜探索を目的とした3成分コンポジションスプレッド薄膜の非晶質安定性
(Amorphous stability of three component composition spread thin film)
第63回応用物理学会学術講演会. 2002年09月24日-2002年09月27日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-18 02:50:54 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:31:15 +0900