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熱フィラメント法で生成した水素ラジカルによる大気圧下でのSiC4の分解

著者岡本 裕二, 堤 大耀, 石垣 隆正, ダーマン ファティマ ゾーラ, 角谷 正友.
会議名第77回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2016
言語Japanese

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