イオンミリングを用いたナノギャップ電極パターン用微細形状の形成
(Formation of Microstructures for Nano-gap Electrode Patterns Using Ion Milling)
第81回応用物理学会秋季学術講演会. 2020.
NIMS著者
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作成時刻: 2020-09-15 03:00:19 +0900更新時刻: 2020-09-15 03:00:19 +0900