HOME > 口頭発表 > 書誌詳細カルーセル型マグネトロンスパッタリング装置によるTi-Ni-Cu合金薄膜の組成制御石田 章, 佐藤 守夫, 山田 圭. 日本金属学会2004年度秋期大会. 2004.NIMS著者石田 章Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-01-08 04:46:54 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:02:54 +0900