レーザーアニールによるSiOX中でのシリコンナノ結晶の析出プロセス
(Formation process of silicon nanocrystals in SiOx by laser annealing)
2007年春季第54回応用物理学関係連合講演会. 2007.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:02:20 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:52:39 +0900