A Dynamic Negative-Ion Mixing Method Using High-Current Heavy Ions and Electron Beam Evaporation
(大電流重イオンと電子ビーム蒸着を用いたダイナミック負イオンミキシング法)
13th International Conference on Ion Implantation Technology, II. 2000年09月17日-2000年09月22日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:59:43 +0900 更新時刻: 2023-04-09 15:16:08 +0900