シリコン表面応力の研究：結晶乱れによる応力の発生
(Surface Stress Study on Silicon: Occurrence of Stress Induced by Surface Disorder )
第６１回応用物理学会学術講演会. 2000年09月03日-2000年09月07日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:00:01 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:05:35 +0900