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著者名ITAKURA, Akiko, Masaya Toda, Ruediger Berger.
タイトルGas sensing by micro cantilever and thin film
(薄膜とマイクロカンチレバーを利用したガス検知)
会議名BIT’s 4th World Congress of Advanced Materials 2014
発表年2014
言語English
外部での文献参照

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