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著者名寺地 徳之, 伊藤利道.
タイトル高品質ホモエピタキシャルダイヤモンド単結晶薄膜の電気的・光学的特性
(Electrical and Optical Properties of Single-crystalline Homoepitaxial Diamond Films)
会議名SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第16回講演会
発表年2007
言語Japanese

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