Si表面酸化で生成したSiO分子の多光子イオン化検出.
(MPI Detection of SiO Produced by Si Surface Oxidation.)
日本表面科学会. 1993年11月30日-1993年12月02日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:56:01 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:26:47 +0900