コンビナトリアルスパッタ成膜法によるMgSiSn系薄膜のナノ構造制御と熱電特性
(Thermoelectric property of nanostructured Mg/Si/Sn thin films controlled by combinatorial sputter coating method)
2023年第70回応用物理学会春季学術講演会. 2023年03月15日-2023年03月18日.
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作成時刻: 2023-12-22 09:27:51 +0900更新時刻: 2023-12-22 09:27:51 +0900