電子線誘起蒸着とイオン研磨により作製されたナノ構造のサイズ評価
(Size evaluation of nano-structure fabricated by EBID combined with ion beam)
第52回応用物理学関係連合講演会. 2005年03月29日-2005年04月01日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:09:51 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:14:01 +0900