(Low temperature oxidation of Si (100) with ozone radicals: Chemical Reaction Mechanism and Surface stress)
Internatinal conference on Solid States Devices and Materials. 2002年09月17日-2002年09月20日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:06:04 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:38:35 +0900