強磁性合金パーマロイ膜の反応性イオンエッチング
(Reactive Icn Etching for Ferromagnetic Fe-Ni Alloy Film)
日本金属学会春季大会. 1995年04月04日-1995年04月06日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:56:33 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:31:46 +0900