荷電ビームによるマイクロサイズ粒子のパターニング
(Patterning of Powder Particles Using Focused Ion Beam Drawing)
第16回電子材料研究討論会（日本セラミックス協会・電子材料部会）. 1996-09-27.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:08:40 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:38:20 +0900