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ガス流制御マルチホロープラズマによる光安定アモルファスSi作製
(Growth of stable amorphous Si films using gas flow-controlled RF multi-hollow plasma)

新倉 ちさと, 松田彰久.
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会. 2010年03月17日-2010年03月20日.

NIMS著者


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    作成時刻: 2017-01-08 04:46:00 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:43:28 +0900

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