HOME > 口頭発表 > 書誌詳細ガス流制御マルチホロープラズマによる光安定アモルファスSi作製(Growth of stable amorphous Si films using gas flow-controlled RF multi-hollow plasma)新倉 ちさと, 松田彰久. 2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会. 2010年03月17日-2010年03月20日.NIMS著者新倉 ちさとMaterials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-01-08 04:46:00 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:43:28 +0900