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FIBを用いた陽極酸化アルミナReRAMデバイスの作製
(Fabrication of anodic aluminum ReRAM device using FIB apparatus)

著者原田 善之, 大吉 啓司, 李 政祐, 児子 精祐, 中野 嘉博, 北澤 英明, 木戸 義勇.
会議名2009年秋季第70回応用物理学学術講演会
発表年2009
言語Japanese

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