同軸型アークプラズマ堆積法により成膜した超ナノ微結晶ダイヤモンド/水素化アモルファスカーボン混相膜の窒素添加効果
(Effect of nitrogen-doping on Ultrananocrystalline diamond/hydrogenated amorphous carbon composite films prepared by coaxial arc plasma depostion)
2017年 第64回応用物理学会春季学術講演会. 2017.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-19 04:37:50 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:34:43 +0900