ナノホールレジストマスクを用いた低エネルギーイオン注入による量子センシングのためのNVセンター配列の作製

東又　格, 岡田　拓真, 加賀美　理沙, 寺地徳之, 小野田　忍, 春山盛義, 山田　圭介, 稲葉　優文, 山野　颯, Priyadharshini Balasubramanian, Liam P McGuinness, Boris Naydenov, Fedor Jelezko, 大島　武, 品田　高宏, 川原田　洋, 加田　渉, 花泉　修, 磯谷　順一, 谷井　孝至.

第77回応用物理学会秋季学術講演会. 2016.