負イオン注入にようCuナノ結晶に及ぼすアニール効果
(Annealing Effects on Cu Nanocrystals Formed by Negative-Ion Implantation )
1998年秋季 第59回応用物理学会学術講演会. 1998年09月15日-1998年09月18日.
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作成時刻: 2017-02-18 01:32:18 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:50:31 +0900